Polovodičové filtry

Polovodičové plynové filtry:

Zajištění dokonalé čistoty plynu při výrobě třísek

Ve složitém světě výroby polovodičů, kde je prvořadá přesnost a čistota, je kvalita

použité plyny hrají rozhodující roli při určování úspěchu procesu. Nečistoty, dokonce i na nekonečně malých úrovních,

může způsobit zmatek na choulostivých obvodech mikročipů a učinit je vadnými a nepoužitelnými. K ochraně

Tento kritický proces, polovodičové plynové filtry stojí jako neústupní strážci a pečlivě odstraňují nečistoty

a zajištění původní kvality plynů, které protékají výrobními linkami.

Slinuté kovové filtry mají mnoho vynikajících vlastností a výhod

1. Vyrobeno v nejmodernějším prostředí čistých prostor

Tyto filtry se rodí v moderní čisté místnosti, v prostředí, kde jsou pečlivě udržovány bezvadné podmínky, aby se minimalizovala jakákoli potenciální kontaminace. Procházejí přísným výrobním procesem, počínaje přesným svařováním v atmosféře čistého vzduchu. Následné propláchnutí deionizovanou vodou, následované vysokotlakým propláchnutím filtrovaným dusíkem, eliminuje jakékoli přetrvávající částice a snižuje riziko uvolňování částic.

2. Výjimečná účinnost odstraňování částic

S pozoruhodnou účinností filtrace 9 LRV pro částice o velikosti 0,003 μm, v souladu s přísnými standardy stanovenými testovacími metodami SEMI F38 a ISO 12500, tyto filtry účinně odstraňují veškeré částice generované korozí a částice generované z pohyblivých částí, čímž zajišťují nedotčenou čistotu plyny.

3. Vynikající mechanická pevnost

Tyto filtry byly pečlivě testovány, aby byla zaručena výjimečná odolnost v náročných výrobních procesech a prostředích, která často využívají vysoký tlak plynu, a poskytují neochvějný výkon po celou dobu své životnosti.

4. Překročení nejvyšších průmyslových standardů

Tyto filtry překonávají přísné požadavky na filtraci plynu pro zpracování polovodičů a procházejí přísným testováním, aby bylo zaručeno, že splňují kritickou účinnost filtrace, přesné řízení průtoku a bezpečnostní standardy požadované systémy dodávky plynu při výrobě polovodičů.

5. Neochvějný závazek k bezpečnosti

Aby se zabránilo vystavení hořlavým, korozivním, toxickým a samozápalným procesním plynům, procházejí pouzdra filtrů pečlivým testováním těsnosti, což zajišťuje, že dosahují pozoruhodné rychlosti úniku menší než 1x10-9 atm scc/s. Tento neochvějný závazek k bezpečnosti zajišťuje, že nebezpečné plyny jsou zadrženy a je zabráněno jejich poškození.

6. Nekompromisní čistota pro špičkovou výrobu čipů

Díky svým výjimečným filtračním schopnostem, neochvějnému závazku k bezpečnosti a dodržování nejvyšších průmyslových standardů hrají tyto plynové filtry klíčovou roli při zabezpečení složitého procesu výroby polovodičů. Stojí jako strážci čistoty a zajišťují, že výrobními linkami proudí pouze ty nejčistší plyny, čímž dláždí cestu k vytvoření vysoce výkonných mikročipů, které pohánějí náš moderní svět.

Typy polovodičových filtrů

Polovodičové filtry se používají v různých aplikacích, včetně:

* Výroba elektroniky:

Polovodičové filtry se používají k odstranění částic z ultračisté vody, plynů a chemikálií používaných při výrobě polovodičů.

* Chemická mechanická planarizace (CMP):

Polovodičové filtry se používají k odstranění částic ze suspenzí CMP, které se používají k leštění polovodičových destiček.

* Biomedicínské:

Polovodičové filtry se používají k odstranění částic z tekutin používaných v lékařské diagnostice a léčbě.

* Environmentální:

Polovodičové filtry se používají k odstranění částic ze vzduchu a vody.

Existují čtyři hlavní typy polovodičových filtrů:

1. Membránové filtry:

Membránové filtry jsou vyrobeny z tenkého porézního filmu, který umožňuje průchod tekutin a zachycuje částice.

 

Membránové filtry pro polovodiče

 

 

2. Hloubkové filtry:

Hloubkové filtry jsou vyrobeny z tlustého, klikatého materiálu, který zachycuje částice, když procházejí filtrem.

 

Hloubkové filtry pro polovodiče

 

 

3. Adsorpční filtry:

Adsorpční filtry jsou vyrobeny z materiálu, který přitahuje a drží částice.

 

 Adsorpční filtry pro polovodiče

 

 

4. Slinuté kovové filtry

Slinuté kovové filtry jsou typem hloubkového filtru, který se běžně používá při výrobě polovodičů. Vyrábějí se slinováním jemného kovového prášku do porézní struktury. Slinuté kovové filtry jsou známé pro svou vysokou odolnost, vysokou účinnost filtrace a schopnost odolávat vysokým teplotám a tlakům.

Výhody slinutých kovových filtrů pro výrobu polovodičů:

* Vysoká odolnost:

Slinuté kovové filtry jsou velmi odolné a vydrží drsné provozní podmínky, včetně vysokých teplot, tlaků a korozivních chemikálií.

 

* Vysoká účinnost filtrace:

Slinuté kovové filtry dokážou odstranit částice až do velikosti 0,01 mikronu, což je nezbytné pro ochranu jemných polovodičových součástek před kontaminací.

* Dlouhá životnost:

Slinuté kovové filtry mají dlouhou životnost a lze je snadno vyčistit a znovu použít.

* Chemická kompatibilita:

Slinuté kovové filtry jsou kompatibilní s širokou škálou chemikálií, díky čemuž jsou vhodné pro použití v různých procesech výroby polovodičů.

Aplikace slinutých kovových filtrů ve výrobě polovodičů:

* Čištění plynu:

Slinuté kovové filtry se používají k čištění plynů používaných při výrobě polovodičů, jako je dusík, vodík a kyslík.

* Chemická filtrace:

Slinuté kovové filtry se používají k filtrování chemikálií používaných při výrobě polovodičů, jako jsou kyseliny, zásady a rozpouštědla.

* Filtrace ultračisté vody:

Slinuté kovové filtry se používají k filtrování ultračisté vody používané při výrobě polovodičů.

* Filtrace suspenze CMP:

Slinuté kovové filtry se používají k filtraci kalů CMP, které se používají k leštění polovodičových destiček.

Slinuté kovové filtry jsou nezbytnou součástí procesu výroby polovodičů a pomáhají zajistit výrobu vysoce kvalitních polovodičových součástek.

 

Typ polovodičového filtru použitého v konkrétní aplikaci závisí na velikosti odstraňovaných částic, typu filtrované tekutiny a požadované úrovni filtrace.

Zde je tabulka shrnující různé typy polovodičových filtrů:

Typ filtru	Popis	Aplikace	Obraz
Membránové filtry	Vyrobeno z tenkého porézního filmu, který umožňuje průchod tekutin a zachycuje částice.	Výroba elektroniky, CMP, biomedicína, životní prostředí	Membránové filtry pro polovodiče
Hloubkové filtry	Vyrobeno z tlustého, klikatého materiálu, který zachycuje částice, když protékají filtrem.	CMP, biomedicínské, environmentální	Hloubkové filtry pro polovodiče
Adsorpční filtry	Vyrobeno z materiálu, který přitahuje a drží částice.	Výroba elektroniky, CMP, biomedicína, životní prostředí	Adsorpční filtry pro polovodiče
Slinuté kovové filtry	Vyrobeno slinováním jemného kovového prášku do porézní struktury.	Čištění plynů, chemická filtrace, filtrace ultračisté vody, suspenzní filtrace CMP	Otevře se v novém okněwww.hengko.com Slinuté kovové filtry pro polovodiče

Aplikace

Slinuté kovové polovodičové plynové filtry jsou široce používány v různých aplikacích v polovodičovém průmyslu. Jejich jedinečné vlastnosti, jako je vysoká účinnost filtrace, odolnost a schopnost odolávat vysokým teplotám a tlakům, z nich činí základní součást systémů dodávky plynu při výrobě polovodičů.

Zde jsou některé ze specifických aplikací sintrovaných kovových polovodičových plynových filtrů:

1. Výroba oplatek:

Slinuté kovové filtry se používají k čištění plynů používaných při výrobě plátků, jako je dusík, vodík a kyslík. Tyto plyny jsou nezbytné pro procesy, jako je epitaxní růst, leptání a doping.

2. Chemická filtrace:

Slinuté kovové filtry se používají k filtrování chemikálií používaných při výrobě polovodičů, jako jsou kyseliny, zásady a rozpouštědla. Tyto chemikálie se používají pro různé účely, včetně čištění, leptání a leštění.

3. Filtrace ultračisté vody:

Slinuté kovové filtry se používají k filtraci ultračisté vody (UPW) používané při výrobě polovodičů. UPW je nezbytný pro čištění a oplachování waferů, stejně jako pro přípravu chemikálií.

4. Filtrace suspenze CMP:

Slinuté kovové filtry se používají k filtraci kalů CMP, které se používají k leštění polovodičových destiček. CMP je kritickým procesem při výrobě mikročipů.

5. Filtrace v místě použití (POU):

Slinuté kovové filtry se často používají jako POU filtry, které se instalují přímo v místě použití, aby poskytovaly nejvyšší úroveň filtrace. POU filtry jsou zvláště důležité pro aplikace, kde je kritická čistota plynu, jako je výroba mikroprocesorů a dalších vysoce výkonných zařízení.

6. Manipulace s vysoce čistým plynem:

Slinuté kovové filtry se používají v systémech manipulace s vysoce čistými plyny k odstranění kontaminantů z plynů používaných při výrobě polovodičů. Tyto kontaminanty mohou zahrnovat částice, vlhkost a organické sloučeniny.

7. Výroba mikroelektroniky:

Slinuté kovové filtry se používají při výrobě mikroelektroniky, jako jsou počítače, tablety, mobilní telefony, IoT senzory a řídicí zařízení.

8. Filtrace mikroelektromechanických systémů (MEMS):

Slinuté kovové filtry se používají při MEMS filtraci, což je proces odstraňování nečistot z mikroelektromechanických systémů. MEMS se používají v různých aplikacích, včetně senzorů, akčních členů a převodníků.

9. Filtrace zařízení pro ukládání dat:

Slinuté kovové filtry se používají při filtraci zařízení pro ukládání dat, což je proces odstraňování nečistot ze zařízení pro ukládání dat, jako jsou pevné disky a disky SSD.

Kromě těchto specifických aplikací se sintrované kovové polovodičové plynové filtry používají také v řadě dalších aplikací v polovodičovém průmyslu. Jejich všestrannost a spolehlivost z nich činí nezbytný nástroj pro výrobce polovodičů.

Hledáte vysoce kvalitní sintrované kovové polovodičové plynové filtry?

HENGKO je vaším partnerem pro OEM řešení v systémech výroby polovodičů.

Naše precizně zpracované filtry zajišťují spolehlivost a efektivitu ve vašich procesech a nabízejí vám výhodu na konkurenčním trhu.

Proč zvolit filtry HENGKO?

* Vynikající kvalita a odolnost
* Přizpůsobená řešení, aby vyhovovala vašim specifickým potřebám
* Vylepšený výkon pro výrobu polovodičů

Nedovolte, aby problémy s filtrací brzdily vaši produkci.

Obraťte se na nás ještě dnes a prozkoumejte, jak mohou naše slinuté kovové filtry způsobit revoluci ve vašem výrobním systému.

Kontaktujte nás naka@hengko.com

Staňte se partnerem HENGKO a udělejte krok k dokonalosti ve výrobě polovodičů!