Snímač teploty a vlhkosti pro polovodičové schéma řízení teploty v čisté místnosti
Zobrazit produkt
Teplotaavlhkost čistého prostoru se určuje především podle požadavků procesu, ale za podmínky splnění požadavků procesu je třeba vzít v úvahu pocit pohodlí.Se zlepšujícími se požadavky na čistotu vzduchu nastal trend stále přísnějších požadavků na teplotu a vlhkost.
Jak je přesnost zpracování stále jemnější, rozsah kolísání teploty je stále menší.Například při litografickém expozičním procesu výroby integrovaných obvodů ve velkém měřítku se požaduje, aby byl rozdíl koeficientu tepelné roztažnosti mezi sklem a křemíkovým plátkem jako materiálem masky stále menší.Průměr 100 um silikonové destičky, nárůst teploty o 1 stupeň, způsobí lineární expanzi o 0,24 um, takže musí být teplota ± 0,1 stupně, současně je hodnota vlhkosti obecně nízká, protože se lidé potí, produkt bude mít znečištění, obzvláště strach z dílny sodíkových polovodičů, tato dílna by neměla překročit 25 stupňů.
Vysoká vlhkost způsobuje další problémy.Když relativní vlhkost překročí 55%, na stěně potrubí chladicí vody se bude tvořit rosa, což způsobí různé nehody, pokud se to stane v přesných zařízeních nebo obvodech.Když je relativní vlhkost 50 %, snadno zreziví.Kromě toho, když je vlhkost příliš vysoká, prach přilepený na povrchu křemíkového čipu bude chemicky adsorbován na povrchu, aby odolal odstranění.Čím vyšší je relativní vlhkost, tím je adheze obtížně odstranitelná, ale když je relativní vlhkost nižší než 30 %, částice se snadno adsorbují na povrch působením elektrostatické síly a velké množství polovodičových součástek je náchylné k rozpadu.Optimální teplotní rozsah pro výrobu oplatek je 35-45%.
Proto je kontrola teploty a vlhkosti obzvláště důležitá, HENGKO vám může poskytnout řadupřizpůsobená řešení zpracování převodníků teploty a vlhkosti!
Snímač teploty a vlhkosti pro polovodičové schéma řízení teploty v čisté místnosti
Nenašli jste produkt, který by vyhovoval vašim potřebám?Kontaktujte naše prodejní pracovníkySlužby přizpůsobení OEM/ODM! 
