HENGKO vysoce čisté porézní kovové komory difuzorů kámen pro vysoce čistou filtraci plynu do polovodiče
Porézní kovové difuzory HENGKO rychle odvětrávají vakuové komory do atmosféry, což zkracuje dobu cyklu a zvyšuje výkon.Naše nerezové difuzory zajišťují rovnoměrné a laminární proudění plynu bez rušivých částic v komoře.Tyto porézní kovové difuzory také odstraňují částice větší než 0,1 µm z přicházejícího plynu, čímž se minimalizují defekty na waferu.
Difuzory z nerezové oceli vydrží vyšší provozní tlaky a udrží integritu produktu – nejdelší životnost v oboru.A pro odolnost proti korozi, která je lepší než u niklu, použijte difuzory HENGKO High Purity.
Aplikace
Porézní kovové difuzory HENGKO se používají ve ventilačních aplikacích na zátěžových plavebních komorách, přenosových komorách, chladicích komorách a procesních komorách rozhraní polovodičových zařízení (CVD, PVD, Etch, Epi) nebo jiných vakuových komor.
Nenašli jste produkt, který by vyhovoval vašim potřebám?Kontaktujte náš prodejní personálSlužby přizpůsobení OEM/ODM!