Vysoce čistá filtrace pro ultračistou výrobu polovodičů
Popis
Vysokoprůtokový plynový filtr – Speciálně navržený pro filtraci procesních plynů s ultra vysokou čistotou při výrobě polovodičů. Je precizně vyroben z nerezové oceli 316L a disponuje vícesloupcovou nebo vrstvenou diskovou konstrukcí, která zajišťuje nízký odpor při vysokých průtocích s přesností filtrace dosahující 0,003 μm, což splňuje požadavky na ultra vysokou čistotu. Celokovová konstrukce z něj činí ideální filtrační řešení pro dynamická prostředí s vysokými teplotami.
Funkce produktu
▶Celá konstrukce z nerezové oceli 316L— Zajišťuje trvanlivost a odolnost proti korozi.
▶Vysoký průtok, nízký odpor— Optimalizováno pro vysoký průtok s minimální tlakovou ztrátou.
▶Ultra vysoká účinnost zadržování částic— Vynikající pro udržování ultračistých podmínek.
▶Odolné vůči vysokým teplotám, tlaku a korozi— Vhodné do náročných podmínek.
▶Kompatibilní s různými procesními plyny— Všestranné pro různé průmyslové aplikace.
▶Ideální pro výrobu, testování a balení v čistých prostorách— Ideální pro použití v kontrolovaném prostředí.
▶100% testování integrity— Každý filtr prochází komplexním testováním integrity pro zajištění kvality.
▶100% testování úniku hélia— Ověřeno zkouškou těsnosti heliem pro zajištění spolehlivosti v kritických aplikacích.
Datový list
Technické parametry
| Parametr | Specifikace |
|---|---|
| Materiál filtračního prvku | Práškově slinutá nerezová ocel 316L |
| Materiál pouzdra | Nerezová ocel 316L |
| Maximální vstupní tlak | 207 barů |
| Maximální provozní diferenční tlak | 5,2 baru |
| Míra úniku validace hélia | 2 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Míra úniku při testování helia | 1 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Povrchová úprava | |
| Vnější povrch | Ra < 1,6 μm |
| Vnitřní povrch | Ra < 0,2 μm |
| Maximální provozní teplota | |
| Inertní plyn | 400–500 °C |
| Korozivní a reaktivní plyn | 50 °C |
| Účinnost zadržování částic | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Čistota následných procesů | ≤0,03 částic/litr při > 0,01 μm, 30 slpm |
| Velikost zadržení částic | ≥0,003 μm |
Velikost
Zde je číslo dílu, které si můžete objednat, a podrobnosti o velikosti:
| Model produktu | Materiál filtračního prvku | Přesnost filtrace (μm) | Typ připojení |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Nerezová ocel 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Nerezová ocel 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Nerezová ocel 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Nerezová ocel 316L | 10~0,003 | 1” |
| Přizpůsobitelné | Nerezová ocel 316L | 10~0,003 | Podle potřeby |
Typické aplikace
některé typické aplikaceVysoce čisté objemové a užitkové filtryaFiltry proudění plynu na plynové plošině:
1. Výroba polovodičů
*Zajišťuje dodávku ultračistého plynu pro výrobu destiček, leptání a procesy chemického nanášení z plynné fáze (CVD).
*Udržuje vysokou čistotu v systémech distribuce velkého množství plynu pro dusík, argon a další nosné plyny.
2. Farmaceutická výroba
*Zajišťuje sterilní plyn bez částic pro kritická výrobní prostředí.
*Podporuje vysoce čistou filtraci pro čisté prostory a kontrolované prostředí pro zachování integrity produktu.
3. Laboratorní plynové systémy
*Používá se v laboratorních podmínkách k čištění plynných proudů v analytických zařízeních, jako je plynová chromatografie a hmotnostní spektrometrie.
*Zajišťuje vysoce čisté plyny pro výzkumné a testovací aplikace a chrání citlivé přístroje.
4. Zpracování potravin a nápojů
*Filtruje CO₂ a další plyny používané při sycení oxidem uhličitým, balení a skladování, čímž zachovává bezpečnost a kvalitu potravin.
*Zajišťuje dodávku plynu bez kontaminace ve zpracovatelských závodech, zejména pro velkoobjemové plynárenské společnosti.
5. Ropný a plynárenský průmysl
*Čistit proudy zemního plynu při filtraci plynových polštářků a odstraňovat kontaminanty před skladováním nebo přepravou.
*Chrání následná zařízení odstraňováním částic, vlhkosti a nečistot ve vysokotlakých systémech proudění plynu.
6. Chemická výroba
*Filtruje užitkové plyny, jako je dusík a argon, používané při chemické syntéze a reakcích.
*Udržuje čistotu plynu, aby se zabránilo kontaminaci a nekonzistentním reakčním procesům.
7. Letectví a obrana
*Dodává vysoce čisté plyny ve výrobním a testovacím prostředí pro letecké materiály a součásti.
*Zajišťuje konzistentní čistotu plynu v kontrolovaném prostředí pro montáž letadel a obranného vybavení.
8. Výroba energie (elektrárny)
*Filtruje plyny pod vysokým tlakem pro chladicí a procesní aplikace, zejména ve vysokoteplotních prostředích.
*Zvyšuje účinnost a snižuje opotřebení zařízení tím, že zabraňuje kontaminaci v systémech chlazení a proudění plynu.
Tyto fFiltry jsou nezbytné v každé aplikaci vyžadující čistý a konzistentní tok plynu, což zvyšuje ochranu zařízení,
efektivitu procesů a kvalitu konečného produktu napříč odvětvími.
Pošlete nám svou zprávu:
