Vysoce výkonné povrchově montované filtry IGS s těsněním C pro systémy dodávky polovodičových plynů
Popis
Povrchové filtry HENGKO jsou navrženy tak, aby splňovaly náročné požadavky integrovaných plynových systémů používaných v polovodičových OEM nástrojích. Tyto filtry nabízejí špičkovou filtraci s velikostí částic 0,003 µm a zajišťují výjimečný výkon a spolehlivost s účinností zachycování částic ≥99,9999999 % (9-LRV) při 120 slpm.
Tyto filtry, vyrobené z robustní nerezové oceli 316L s práškovým slinováním pro filtrační prvek a pouzdro, splňují specifikace SEMI F86-0304 a obsahují dvouportové komponenty přizpůsobené pro 1,125” systémy rozvodu plynu s konfigurací C-těsnění. Podporují maximální vstupní tlak 3,4 MPa při 100 °C a maximální provozní tlakový rozdíl 0,69 MPa při 100 °C.
Tyto specializované filtry, kompatibilní se specifikacemi těsnění typu C i W, dosahují čistoty po proudu s uvolňováním částic
S povrchovou úpravou Ra< 1,6 µm na vnější straně a RaS tloušťkou < 0,13 µm na vnitřní straně jsou navrženy tak, aby odolaly vysokým teplotám až do 460 °C. Tyto filtry jsou navrženy pro snadnou integraci a modulární upgrady, zjednodušují instalaci a údržbu a pomáhají optimalizovat výkon systémů v aplikacích dodávky a řízení polovodičových plynů.
Funkce produktu
▶ Celková konstrukce z nerezové oceli 316L
▶ Miniaturní design, kompaktní konstrukce, úspora místa
▶ Vynikající vlastnosti náhrady plynu a desorpce
▶ Odolné vůči vysokým teplotám, vysokému tlaku a korozi
▶ Pouzdro z elektrolyticky leštěné nerezové oceli 316L
▶ Snadná a efektivní instalace a údržba
▶ Mechanické těsnění, konstrukčně nesvařené s médiem
Datový list
| Technické parametry | Hodnoty |
|---|---|
| Materiál filtračního prvku | Slinutý prášek z nerezové oceli 316L |
| Materiál pouzdra | Nerezová ocel 316L |
| Maximální vstupní tlak | 3,4 MPa při 100 °C |
| Maximální provozní diferenciál | 0,69 MPa při 100 °C |
| Míra úniku helia při ověření | 1x10⁻¹¹ cm³/min |
| Míra úniku helia | 1x10⁻⁹ cm³/min |
| Povrchová úprava | Vnější povrch Ra< 1,6 μm |
| Vnitřní povrch Ra< 0,13 μm | |
| Maximální provozní teplota | 460 °C |
| Účinnost zachycení částic | ≥99,9999999 % (9-LRV) při 120 slpm (referenční MPPS, všechny částice) |
| Čistota následných procesů | Uvolňování částic:< 0,03 částic/litr (< 1 částice/ft³) |
| Těkavé látky:vlhkost < 10 ppb | |
| Velikost zachycených částic | ≥0,003 μm |
| Rozsah průtoku | 0 ~ 120 slpm |
Velikost
Zde je číslo dílu, které si můžete objednat, a podrobnosti o velikosti:
| Model produktu | Průtok | Výška V (mm) | Přesnost filtrace | Úroveň čištění |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Typické aplikace
Pro použití s modulárními systémy pro povrchovou montáž s těsněním W a C, 1,125” a 1,5”.
Pošlete nám svou zprávu:
